1413章 激光倍频技术！

鹰酱针对华兴科技集团公司的制裁持续了接近两年，不过兔子高层对此并没有袖手旁观，虽然没有明面上要对鹰酱国内的这些科技公司提出制裁，不过暗地里那也是下了狠手的，也是打疼了这些公司。

鹰酱对于自己集全国之力对付华兴科技集团公司这一招竟然没有奏效后其实也是吓到了不少的国家和很多的科技公司。

杨杰作为一个技术狂，自己本身就精通半导体科技，最开始的时候机缘巧合得到了谭云松这支技术团队和一座先进的晶圆厂，同时还得到霓虹国很多的在半导体产业上的设备和技术，那还不玩命地补上自己的技术短板和产业链，甚至从牙缝里挤出钱来开始搞光刻机这个项目，他本人甚至亲自上阵帮助技术团队搞光刻机的研发，并且率先搞出了沉浸式光刻机。，甚至比阿斯麦推出的浸入式光刻机还要早上两年。

因为瑞星科技公司一开始是仿制，并且这种沉浸式光刻机其实技术难度并不是特别大，属于小改进大效果，产品成熟度非常高，成功地将193纳米的光源波长折射成了134纳米，翻越了157纳米的技术大关，直接保证了中晶微可以直接将制程工艺可以做到65纳米，并且瑞星科技公司不断地改进镜头，而华星半导体材料技术公司不断地改进光刻胶，中晶微也是不停地改进制程工艺，保证了制程工艺不断地提升。

当然，瑞星科技公司自己研制的光刻胶一开始也是出现这样那样的技术问题，不过中晶微和华越电子以及华晶采购量都不小，而且能够忍受一开始这些设备的问题，而瑞星科技公司则是不断地解决这些问题，并且不断地提升设备技术性能。

发展到现在，国内也是建立起了光刻机的产业链，华兴科技集团公司自己掌握了光刻机的几个核心关键系统，剩下的多个子系统也是分别交给了国内的科研所进行试制生产。

因为国内这些年投产的晶圆厂数量很多，瑞星科技公司光是光刻机每年的产能都是在接近200台，基本上占到了全球光刻机市场的百分之五十的市场份额，市场主要集中在国内，也是靠着国内市场发展起来的。

剩下的光刻机市场基本上是被阿斯麦公司的光刻机给瓜分了，主要的客户主要是集中在南韩和鹰酱和湾湾这些晶圆厂。

现在基本上是已经形成了这样的市场格局，虽然国内在光刻机市场还有金山微电子这家国家选手，而且也能从国内的光刻机产业链得到很好的零部件，不过在系统集成和产品性能上还是不足的，产量很少。

不过这不代表瑞星科技公司就可以松懈下来，因为阿斯麦公司现在正在包括南韩和鹰酱几家晶圆大厂的扶持下搞极紫外光刻机的研发试制呢。

其实极紫外光刻机的理论研究在十多年前就组建了一个技术联盟，这个联盟主要是英特尔联合鹰酱国内的几个国家实验室搞起来的，这个联盟里面的科学家发表了几百篇论文，验证了极紫外光刻机的可行性。

虽然这个技术联盟解散了，不过阿斯麦公司当年在收购鹰酱国内这家光刻机制造商硅谷集团后算是买到了一张进入鹰酱国内光刻机市场的门票，顺理成章地成为了半个鹰酱国内的公司，享受到鹰酱国内强劲的基础科学带来的巨大好处，这个也是为这家公司在开发极紫外光刻机上面得到了非常多的技术加持。

当然，鹰酱国内的外国投资委员会最终在收购协议上加了一堆条件，其中包括不许收购硅谷集团公司负责打磨镜片的子公司，并且保证各种技术和人才留在鹰酱的国内。

因为阿斯麦可以得到鹰酱国内最好的极紫外光刻机需要的最好光源和计算光刻等方面的应用服务，这个也使得阿斯麦在四年前就推出了极紫外光刻机的原型机，甚至比瑞星科技公司的深紫外光刻机原型机还要提前两年。

不过瑞星科技公司公司和阿斯麦在光源技术上选择是截然不同的，瑞星科技公司选择的光源是氮化镓半导体固态激光光源，而阿斯麦选用的是Cymer公司研制的离子束光源。

这种离子束光源主要是通过利用高功率的二氧化碳激光器以高频脉冲的方式轰击光源内的锡液滴靶丸产生极紫外光源辐射，反射光学系统直接将光射向需要刻蚀的硅晶圆。

这家公司在上世纪八十年代起就开始玩气体激光光源技术用在芯片生产上面，在这方面玩得非常溜。

不过华兴科技集团公司从一开始就开始玩半导体激光，一开始从激光读写头开始玩起，后来开始玩半导体激光光源波长最短的氮化镓激光光源，并且利用国内在非线性光学晶体材料上的绝对技术优势玩激光倍频技术。

其实国内在玩激光倍频技术上是世界领先的，很早就实现了激光六倍频技术，华兴科技集团公司利用这种激光倍频技术在实验室里面很早就研制出了波长只有6纳米的极紫外光光源。

只不过这种极紫外光光源破坏力实在是很大，瑞星科技公司公司也不可能直接使用这种光源，只能是等到三阳光学公司研制出可以长时间经受住极紫外光光源照射破坏的镀膜材料。

这种镀膜材料要用到零膨胀材料，并且还不能吸收紫外光光源能量，其难度之大简直众多的科学家和工程师头皮发麻。

不过杨杰在这方面那是真的舍得砸钱的，而且三阳光学公司这些年也是一直在为瑞星科技公司公司提供光刻机的镜头组，同时也为不少的大科学装置提供各种高精尖的光学设备，技术研发上就从来没有停过，所以现在已经能提供能够长时间经受住波长在25纳米极紫外光光源照射的反射镜镜头装置了。

所以现在瑞星科技公司公司选用的是四倍频激光技术的氮化镓半导体固态激光光光源。

如果在技术层面上来说的话瑞星科技公司公司在极紫外光刻机水平跟阿斯麦差不多是处于同一水平的。

不过杨杰是想率先抢在阿斯麦之前将极紫外光刻机实现量产，所以在跟胡焕志谈到华兴科技集团公司还要加码技术研发上首先就提到了极紫外光刻机研发进度的事情。